非一方向流方式のクリーンルーム（天井から給気され、床・壁の一角に設けられた吸込口から還気する方式）では、室内は不均一な流れが発生しやすくなります。そのために、超清浄空間では採用されず、JISクラス６～８程度のクリーンルームにおいて採用されます。基本設計段階における、空間内の生じている流れを可視化することをWindPerfectによって試みました。

 

【解析モデル】
　解析の対象となるモデルは二重天井、二重床のあるクリーンルームを想定したものであり、解析空間の大きさは25.0m×23.0m×5.7m（床下高さ0.9ｍ、天井内高さ1.4ｍ、クリーンルーム高さ3.4ｍ）、総格子数は1,519,980としました。クリーンルーム内には、作業台があるものとしました。 天井内には２４℃の空気が吹き出されます。その後、FFUで２℃加算した空気がクリーンルーム内に吹き出され、床下の吸い込み口から吸い込む設定としました。

 

図1 解析モデル1　パース表示

 

図2 解析モデル2　パース表示

 

【解析条件】
・空調条件
FFU　１５４箇所　650CMH
（天井内の温度に２℃加算してクリーンルームに吹き出す設定）
天井吹き出し　２５箇所　４０００CMH　吹出し温度２４℃
・発熱条件
照明発熱負荷　５０００W

 

図３ FFU設定位置図

 

図４ クリーンルーム吹き出し・吸い込み設定位置図